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METHOD OF FABRICATING A SOLDER ON PAD FOR CORELESS PACKAGE SUBSTRATE TECHNOLOGY

机译:在相关包装基质技术上在PAD上制造焊料的方法

摘要

A method for manufacturing a solder on pad by a coreless package substrate method is provided to prevent an electrical short in a flip chip coupling process by forming a copper core inside the solder on pad. A substrate pad(295) and a solder on pad are formed for mounting a semiconductor die with a flip chip method. A pattern is etched and formed in a dry film. An uneven part is formed in a surface of a first copper foil by half-etching a surface of the first copper foil exposed according to the dry film pattern. A solder(265) plating is formed on the uneven surface of the first copper foil with the uneven part. The copper plating is filled in the solder plating coated on the surface of the uneven part by performing the copper plating. The dry film is peeled off and the surface is grinded and planarized.
机译:提供一种通过无芯封装基板方法制造在焊盘上的焊料的方法,以通过在焊盘上的焊料内部形成铜芯来防止在倒装芯片耦合工艺中的电短路。形成衬底焊盘(295)和焊盘上的焊料以通过倒装芯片法安装半导体管芯。蚀刻图案并在干膜中形成。通过半蚀刻根据干膜图案暴露的第一铜箔的表面,在第一铜箔的表面中形成不平坦部分。在具有不平坦部分的第一铜箔的不平坦表面上形成焊料(265)镀层。通过进行镀铜,将铜镀层填充在涂覆在凹凸部的表面上的焊料镀层中。将干膜剥离,然后将表面研磨和平坦化。

著录项

  • 公开/公告号KR100925669B1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-11-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20070138735

  • 发明设计人 조원진;윤상근;

    申请日2007-12-27

  • 分类号H01L23/488;H01L21/60;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 19:11:30

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