公开/公告号DE602004021309D1
专利类型
公开/公告日2009-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号DE20046021309T
发明设计人 VAN DER PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS F.;BEEMS MARCEL HENDRIKUS MARIA;LOOPSTRA ERIK ROELOF;MEIJER HENDRICUS JOHANNES MARIA;GALBURT DANIEL N.;
申请日2004-04-05
分类号G03F9;G03F7/20;H01L21/027;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:08:15