要解决的问题:为了高度准确,高效地检测安装在平台上的片状主体的安装位置。
解决方案:一种用于检测薄片体的位置的方法包括以下步骤:使板F移动通过曝光台18,将来自频闪仪64a和64b的照明光照射在形成于板F上的每个对准标记60a-60h上。在预定的间隔内,通过从CCD摄像机22a和22b获取每个对准标记60a-60h的多个图像来找到平均位置,并将它们与调节位置进行比较,以计算板F的安装位置的校正数据。 >版权:(C)2006,JPO&NCIPI
公开/公告号JP4533777B2
专利类型
公开/公告日2010-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 富士フイルム株式会社;
申请/专利号JP20050054470
发明设计人 高田 倫久;
申请日2005-02-28
分类号G03F7/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:59:45