公开/公告号JP2010004074A
专利类型
公开/公告日2010-01-07
原文格式PDF
申请/专利号JP20090224861
发明设计人 MATSUDA NARIMASA;SPECK JAMES S;NAKAMURA SHUJI;DENBAARS STEVEN P;HASKELL BENJAMIN A;CRAVEN MICHAEL D;FINI PAUL T;
申请日2009-09-29
分类号H01L21/205;C23C16/34;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:59:06