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METHOD OF FABRICATING AN OPTICAL ANALYSIS DEVICE COMPRISING A QUANTUM CASCADE LASER AND A QUANTUM DETECTOR

机译:制造包括量子级联激光和量子检测器的光学分析装置的方法

摘要

The invention relates to a method of fabricating an optical device for analysing a scene, comprising an emitter and a detector in the mid-infrared or far-infrared, characterized in that it comprises:the production of a stack of semiconductor layers grown epitaxially on the surface of a semiconductor substrate, certain layers of which are doped;the production of a first, quantum cascade laser emission device (L) emitting an analysis beam in the mid-infrared or far-infrared, from a first level called the emission level, into the stack of semiconductor layers; andthe production of a second, quantum detector device (D) capable of detecting a beam backscattered by the scene to be analysed, at the same level in the stack as the emission level.
机译:本发明涉及一种制造用于分析场景的光学装置的方法,其包括中红外或远红外的发射器和检测器,其特征在于: 在半导体衬底表面上外延生长的半导体层堆叠的生产,其中某些层被掺杂; 生产第一量子级联激光发射装置(L),该装置将中红外或远红外的分析光束从称为发射能级的第一能级发射到半导体层堆叠中;和 生产第二个量子检测器设备(D),该设备能够检测在相同水平上被待分析场景反向散射的光束。堆栈作为排放级别。

著录项

  • 公开/公告号US2010029026A1

    专利类型

  • 公开/公告日2010-02-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 VINCENT BERGER;MATHIEU CARRAS;

    申请/专利号US20090533429

  • 发明设计人 VINCENT BERGER;MATHIEU CARRAS;

    申请日2009-07-31

  • 分类号H01L21/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:50:56

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