采用MOCVD生长方法制备量子级联激光器研究进展

摘要

量子级联激光器(QCL)是一种基于子带间电子跃迁的中、远红外波段单极光源。由于MOCVD较MBE具有更快的生长速率，高质量的磷化物生长、低缺陷密度等优势更适合工业化生产，越来越多的量子级联激光器采用这种方法制备，并实现了室温连续大功率输出。本文就采用MOCVD生长方法制备量子级联激光器的研究进展进行了总结。