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Methods of Splitting CdZnTe Layers from CdZnTe Substrates for the Growth of HgCdTe

机译:从CdZnTe衬底上剥离CdZnTe层以生长HgCdTe的方法

摘要

Methods of producing CdZnTe (CZT) layers for the epitaxial growth of HgCdTe thereon include implanting ions into a CZT substrate at a low temperature to form a damaged layer underneath a CZT surface layer, bonding a wafer to the CZT substrate about the CZT surface layer using a bonding material, and, annealing the CZT substrate for a time sufficient to facilitate the splitting of the CZT substrate at the damaged layer from the CZT surface layer.
机译:产生用于在其上外延生长HgCdTe的CdZnTe(CZT)层的方法包括:在低温下将离子注入CZT衬底中,以在CZT表面层下形成损坏的层;使用以下方法在CZT表面层周围将晶片粘合到CZT衬底上:然后,将CZT基板退火足够长的时间,以促进在受损层处的CZT基板从CZT表面层剥离。

著录项

  • 公开/公告号US2009305459A1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-12-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RABI S. BHATTACHARYA;YONGLI XU;

    申请/专利号US20090479119

  • 发明设计人 RABI S. BHATTACHARYA;YONGLI XU;

    申请日2009-06-05

  • 分类号H01L21/08;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:49:33

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