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method and device for treating the surface of at least one partial component with at least one vacuum chamber to erzeugendem niederdruckplasma

机译：用至少一个真空室处理至少一个局部部件的表面的方法和装置

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公开/公告号AT454211T

专利类型
公开/公告日2010-01-15

原文格式PDF
申请/专利权人 INPRO INNOVATIONSGESELLSCHAFT FUER FORTGESCHRITTENE PRODUKTIONSSYSTEME IN DER FAHRZEUGINDUSTRIE MBH;
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申请/专利号AT20060090034T
发明设计人 HOYER OLAF;MINKOW MICHAEL;STECHMANN LEA;
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申请日2006-03-08
分类号B01J19/08;C23C16/04;C23C16/511;C23F4/00;C23G5/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 18:44:01

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