公开/公告号WO2009126901A3
专利类型
公开/公告日2010-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;INAGAWA MAKOTO;KURITA SHINICHI;SHAMOUN BASSAM;KRISHNASWAMI SRIRAM;SHIRK MICHAEL D.;CUNNINGHAM KEVIN L.;
申请/专利号WO2009US40232
发明设计人 KRISHNASWAMI SRIRAM;CUNNINGHAM KEVIN L.;INAGAWA MAKOTO;SHAMOUN BASSAM;KURITA SHINICHI;SHIRK MICHAEL D.;
申请日2009-04-10
分类号H01L21/78;H01L31/042;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:41:11