公开/公告号EP1666408A4
专利类型
公开/公告日2009-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 ULVAC INC.;JEMCO INC.;
申请/专利号EP20040787672
申请日2004-09-07
分类号B82B1;B01F17;B01J13;B01J19;B22F1;B22F9;C09D5/24;H01L21/288;H01L23/12;H01L23/14;H01L23/498;H01L29/06;H05K3/12;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 18:40:41