公开/公告号WO2010062860A3
专利类型
公开/公告日2010-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 ZYGO CORPORATION;DECK LESLIE L.;DE GROOT PETER;DAVIDSON MARK;LIESENER JAN;COLONNA DE LEGA XAVIER;
申请/专利号WO2009US65572
申请日2009-11-23
分类号G01B9/04;G01B9/02;G02B21/00;G02B21/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:37:51