公开/公告号EP2194570A1
专利类型
公开/公告日2010-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号EP20100157271
发明设计人 UCHIDA TAKESHI;HOSHINO TETSUYA;TERAZAKI HIROKI;KAMIGATA YASUO;KONDOH SEIICHI;HONMA YOSHIO;KOYAMA NAOYUKI;
申请日1999-12-28
分类号H01L21/321;C09G1/02;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 18:35:01