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MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF POLISHING PROCESS BASED ON COUPLING VIBRATIONS OF LIQUID

         

摘要

分子的动力学方法被使用学习基于联合液体的颤动擦亮的用机器制造的机制。在硅上炮轰的磨料粒子的物理现象单音的水晶表面用 Tersoff 潜力被模仿。颤动参数,粒子尺寸,事件角度和粒子材料的效果被分析并且讨论。材料移动机制被学习。变丑和埋入现象在模拟被发现。轰炸将在影响点附近破坏晶体结构,并且粘附效果为材料的最后的移动负责。

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