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DRYER OF A SUBSTRATE, CAPABLE OF PREVENTING THE SINK OF AN AIR KNIFE

机译:能够防止气刀沉没的基质干燥剂

摘要

PURPOSE: A dryer of a substrate is provided to improve the reliability of a drying process by processing the same dryness.;CONSTITUTION: A top air knife(10) sprays dry air to the upper side of a transferred substrate(S). A bottom air knife(20) sprays dry air to the bottom side of the substrate. The top air knife and the bottom air knife have a bent shape. An idle roller part(30) comprises an idle roller which has a different size. The idle roller part transfers the substrate to the space between the bottom air knife and the top air knife.;COPYRIGHT KIPO 2010
机译:目的:提供一种基板干燥机,通过处理相同的干燥度来提高干燥过程的可靠性。组成:顶部气刀(10)将干燥的空气喷到已转印基板的上侧。底部气刀(20)将干燥空气喷洒到基板的底侧。顶部气刀和底部气刀具有弯曲的形状。惰辊部分(30)包括具有不同尺寸的惰辊。惰辊部分将基材转移到底部气刀和顶部气刀之间的空间。; COPYRIGHT KIPO 2010

著录项

  • 公开/公告号KR20100077359A

    专利类型

  • 公开/公告日2010-07-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 K.C.TECH CO. LTD.;

    申请/专利号KR20080135277

  • 发明设计人 LIM KUN YOUNG;

    申请日2008-12-29

  • 分类号H01L21/302;G02F1/13;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 18:32:18

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