要解决的问题:提供一种液相激光烧蚀设备,该设备允许在液相中连续且稳定地进行激光烧蚀处理,并且具有足够高的效率以通过液相激光烧蚀处理产生颗粒。解决方案:本发明涉及一种液相激光烧蚀设备,该液相激光烧蚀设备用于向溶剂13中的靶材14照射激光束L以在液相中进行激光烧蚀,以及该液相激光烧蚀设备包括:激光振荡器10,用于产生激光束L;处理容器12,其具有激光L可透过的底部B,用于保持溶剂13。靶14布置在处理容器12的底部B上。处理容器12布置成使得靶14被透射通过处理容器12的底部B的激光束L照射。 C)2011,日本特许厅
公开/公告号JP2011161379A
专利类型
公开/公告日2011-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 TOYOTA CENTRAL R&D LABS INC;
申请/专利号JP20100027490
发明设计人 NISHI TEPPEI;
申请日2010-02-10
分类号B01J19/12;B23K26/12;B23K26/14;B23K26/36;B02C19/18;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:25:14