公开/公告号JP4740057B2
专利类型
公开/公告日2011-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.;
申请/专利号JP20060189925
发明设计人 ロイ ヴェルクマン;エフェラルドゥス コーネリス モス;ヘンリクス ヤコブス マリア フェルホーフェン;レオナルドゥス ヘンリクス マリー フェルシュタッペン;ヘンリクス ヨハネス ラムベルトゥス メーヘンス;フーベルトゥス ヨハネス ヘルトルドゥス シモンズ;
申请日2006-07-11
分类号H01L21/027;G03F9/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:18:57