公开/公告号US8052885B2
专利类型
公开/公告日2011-11-08
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申请/专利权人 MEHRAN NASER-GHODSI;GARRETT PICKARD;RUDY F. GARCIA;MING LUN YU;KENNETH KRZECZOWSKI;MATTHEW LENT;SERGEY LOPATIN;CHRIS HUANG;NILES K. MACDONALD;
申请/专利号US20070622625
发明设计人 RUDY F. GARCIA;MING LUN YU;NILES K. MACDONALD;GARRETT PICKARD;MATTHEW LENT;CHRIS HUANG;MEHRAN NASER-GHODSI;SERGEY LOPATIN;KENNETH KRZECZOWSKI;
申请日2007-01-12
分类号B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/461;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:09:58