公开/公告号WO2007100933A3
专利类型
公开/公告日2008-04-10
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申请/专利权人 KLA TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION;NASSER-GHODSI MEHRAN;GOTKIS YEHIEL;LOPATIN SERGEY;PICKARD GARRETT;GARCIA RUDY F.;YU MING LUN;KRZECZOWSKI KENNETH;LENT MATTHEW;HUANG CHRIS;MACDONALD NILES K.;BOROWICZ STANISLAW MAREK;CHUANG TZU-CHIN;
申请/专利号WO2007US60503
发明设计人 GARCIA RUDY F.;NASSER-GHODSI MEHRAN;LOPATIN SERGEY;MACDONALD NILES K.;GOTKIS YEHIEL;KRZECZOWSKI KENNETH;YU MING LUN;BOROWICZ STANISLAW MAREK;CHUANG TZU-CHIN;LENT MATTHEW;PICKARD GARRETT;HUANG CHRIS;
申请日2007-01-12
分类号C23F1/00;A61N5/00;B44C1/22;G21K7/00;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 20:02:09