机译:测试结果分析方法和测试结果分析装置,异常设备检测方法和异常设备检测装置,使计算机执行测试结果分析方法和异常设备检测方法的程序,以及使用该程序记录的计算机可读记录介质
公开/公告号WO2010137463A1
专利类型
公开/公告日2010-12-02
原文格式PDF
申请/专利号WO2010JP58084
发明设计人 IMAI KATSUKI;
申请日2010-05-13
分类号H01L21/66;H01L21/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:00:27