公开/公告号RU2407101C1
专利类型
公开/公告日2010-12-20
原文格式PDF
申请/专利号RU20090133528
发明设计人 KOSOLOBOV SERGEJ SERGEEVICH;LATYSHEV ALEKSANDR VASILEVICH;SHCHEGLOV DMITRIJ VLADIMIROVICH;RODJAKINA EKATERINA EVGENEVNA;
申请日2009-09-07
分类号H01L21/02;B82B3/00;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 17:48:37