公开/公告号DE602004030121D1
专利类型
公开/公告日2010-12-30
原文格式PDF
申请/专利号DE20046030121T
发明设计人 HARAGUCHI TAKAYUKI;WAKIYA KAZUMASA;YOKOI SHIGERU;HUSSEIN MAKAREM A.;CLARK SHAN CHRISTOPHER;JONG LANA I.;
申请日2004-06-18
分类号C11D11/00;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/311;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:46:38