机译:具有相同的微照相术的投影对象装置,具有相同的微照相术的照相曝光装置,用于构成要素的微照相术制造方法以及使用该方法制造的构成要素
公开/公告号JP2012060155A
专利类型
公开/公告日2012-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号JP20110263850
申请日2011-12-01
分类号H01L21/027;G02B17/08;G02B5/18;G03H1/08;G02B5/30;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:40:52