公开/公告号JP5064689B2
专利类型
公开/公告日2012-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション;
申请/专利号JP20060018863
申请日2006-01-27
分类号H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/762;H01L21/76;H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;H01L29/423;H01L29/49;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:39:13