要解决的问题:提供一种用于生产CNT的设备,方法和程序,其中可以现场观察到任何生长高度的CNT的发光速度,并且可以容易地将CNT的发光条件改变为最佳状态。 。
解决方案:用于生产CNT的设备包括:CNT发光装置,其中将碳源供应到放置有基板的腔室中,并且CNT在基板上生长;观察装置,用于测量CNT在碳纳米管上的发光高度。配备了一个光学显微镜,可以在基板侧面捕获图像,并配备了数码相机以将图像存储为数字数据。提供了使用CNT制造装置制造CNT的方法和制造CNT的程序。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP4900791B2
专利类型
公开/公告日2012-03-21
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社豊田中央研究所;
申请/专利号JP20060255166
发明设计人 郡司島 造;
申请日2006-09-21
分类号C01B31/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:36:47