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Seal ring for preventing crack propagation in integrated circuit devices

机译:防止裂纹在集成电路器件中传播的密封圈

摘要

In one embodiment, an integrated circuit device includes an active area encompassed by a seal ring. The seal ring may include a deep moat formed on an outer edge of the seal ring. The deep moat may have a depth that extends substantially to the substrate to prevent cracks from propagating into the active area. Alternatively or in addition, the seal ring may include redundant vias.
机译:在一个实施例中,一种集成电路器件包括由密封环包围的有源区域。密封环可包括形成在密封环的外边缘上的深沟。深沟可以具有基本延伸到基板的深度,以防止裂缝传播到有源区域中。替代地或附加地,密封环可以包括冗余的通孔。

著录项

  • 公开/公告号US8093719B1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-01-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FARNAZ PARHAMI;

    申请/专利号US20050281098

  • 发明设计人 FARNAZ PARHAMI;

    申请日2005-11-16

  • 分类号H01L23/04;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 17:25:41

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