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'methods of making copper selenium precursor compositions with a targeted copper selenide content and precursor compositions and thin films resulting therefrom'

机译:“制造具有硒化铜目标含量的铜硒前体组合物的方法以及由此得到的前体组合物和薄膜”

摘要

Precursor compositions containing copper and selenium suitable for deposition on a substrate to form thin films suitable for semi-conductor applications. Methods of forming the precursor compositions using primary amine solvents and methods of forming the thin films wherein the selection of temperature and duration of heating controls the formation of a targeted species of copper selenide.
机译:包含铜和硒的前体组合物,适合于沉积在基板上以形成适用于半导体应用的薄膜。使用伯胺溶剂形成前体组合物的方法和形成薄膜的方法,其中选择温度和加热持续时间控制了目标物种硒化铜的形成。

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