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METHOD FOR DETERMINING A SPRING CONSTANT FOR A DEFORMABLE SCANNING PROBE MICROSCOPE ELEMENT, AND SCANNING PROBE MICROSCOPE AND CALIBRATION DEVICE ARRANGED FOR DETERMINING A SPRING CONSTANT FOR A PROBE ELEMENT.

机译：确定可变形的扫描探针显微元件的弹簧常数的方法，以及用于确定探针元件的弹簧常数的扫描探针的显微镜和校准装置。

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公开/公告号NL2005687C

专利类型
公开/公告日2012-05-15

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申请/专利权人 TU DELFT;
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申请/专利号NL20102005687
发明设计人 KEULEN ALFRED;YANG CHUNG-KAI;GOOSEN JOHANNES FRANS LODEWIJK;SADEGHIAN HAMED;FRENCH PATRICK JAMES;BOSSCHE ADRIANUS;
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申请日2010-11-12
分类号G01Q40/00;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 17:23:32

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