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FORCE-SENSING DEVICE FOR MEASURING FORCE ON SOLID STATE ACTUATORS, METHOD FOR MEASURING FORCE, AS WELL AS USE OF FORCE-SENSING DEVICE

机译：固态致动器上的测力装置，测力方法以及测力装置的使用

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摘要

The invention relates to a force-sensing device comprising an amorphous hydrocarbon layer which has piezoresistant properties and is located on a solid state actuator.

机译：力传感装置技术领域本发明涉及一种力传感装置，该力传感装置包括具有压电抗性并且位于固态致动器上的无定形烃层。

著录项

公开/公告号EP2013598B1

专利类型
公开/公告日2012-02-29

原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;
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申请/专利号EP20070724703
发明设计人 BIEHL SASKIA;MELZ TOBIAS;MAYER DIRK;LUETHJE HOLGER;HEROLD SVEN;
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申请日2007-04-27
分类号G01L1/22;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:16:54

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