公开/公告号WO2012096311A1
专利类型
公开/公告日2012-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;ORITA AKIHIRO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;MACHII YOICHI;IWAMURO MITSUNORI;KIZAWA KEIKO;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;
申请/专利号WO2012JP50391
发明设计人 ORITA AKIHIRO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;MACHII YOICHI;IWAMURO MITSUNORI;KIZAWA KEIKO;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;
申请日2012-01-11
分类号H01L21/225;H01L31/04;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:14:45