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IMAGE PROCESSING METHOD FOR THE ANALYSIS OF INTEGRATED CIRCUITS, AND SYSTEM FOR IMPLEMENTING SAID METHOD

机译:用于综合电路分析的图像处理方法及实施方法

摘要

The invention relates to an image-processing method for analyzing defects in an integrated electronic circuit (24) using acquisition data from measuring isolated photons emitted by the circuit (24), including a first step of filtering the detected photons (208) using weights corresponding to a space and/or time correlation step (206) and allocated to each respective photon. The processing method further includes at least one basic step (716) of arranging the photons located in a window (Fev(k)) in groups about a predetermined central photon (k) in an event (ev(k)) characterized by an event position and an event weight Wev(k) equal to the sum of the weights of all the photons contained in the window Fev(k).
机译:本发明涉及一种图像处理方法,其使用来自测量由电路(24)发射的隔离光子的采集数据来分析集成电路(24)中的缺陷,该方法包括使用对应的权重对检测到的光子(208)进行滤波的第一步。分配给空间和/或时间相关步骤(206),并分配给每个相应的光子。该处理方法还包括至少一个基本步骤(716),在以事件为特征的事件(ev(k))中,将位于窗口(Fev(k))中的光子围绕预定的中央光子(k)成组排列。位置和事件权重Wev(k)等于窗口Fev(k)中包含的所有光子的权重之和。

著录项

  • 公开/公告号EP2409276A1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-01-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CENTRE NATIONAL DETUDES SPATIALES;

    申请/专利号EP20100715941

  • 发明设计人 SANCHEZ KEVIN;PERDU PHILIPPE;

    申请日2010-03-15

  • 分类号G06T7;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 17:13:58

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