公开/公告号KR20120006046A
专利类型
公开/公告日2012-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 CYMER INC.;
申请/专利号KR20117026586
发明设计人 VASCHENKO GEORGIY O.;PARTLO WILLIAM N.;FOMENKOV IGOR V.;SANDSTROM RICHARD L.;ERSHOV ALEXANDER I.;BRANDT DAVID C.;MILLER JOSHUA J.;
申请日2010-03-31
分类号H05G2;G21K5/08;H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:10:47