机译:通过电子束蒸发坩埚中的材料,从而使气态涂层材料在气化材料的表面上反射,并通过电弧放电在表面上产生等离子体,从而在真空腔室内气相沉积基板
公开/公告号DE102010035315A1
专利类型
公开/公告日2012-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;
申请/专利号DE20101035315
申请日2010-08-25
分类号C23C14/30;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:05:28