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POSITION INFORMATION DETECTION SENSOR, MANUFACTURING METHOD FOR POSITION INFORMATION DETECTION SENSOR, ENCODER, MOTOR DEVICE, AND ROBOT DEVICE

机译:位置信息检测传感器,位置信息检测传感器的制造方法,编码器,电动机装置以及机器人装置

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position information detection sensor capable of size reduction, a manufacturing method for a position information detection sensor, an encoder, a motor device, and a robot device.;SOLUTION: A position information detection sensor includes a first chip on which a light detection part for detecting light via an optical pattern is mounted, and a second chip which is bonded to the first chip in a state that a surface of the second chip faces a surface of the first chip and on which a magnetic field detection part for detecting the magnetic field of a magnetic pattern is mounted.;COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT
机译:解决的问题:为了提供一种能够减小尺寸的位置信息检测传感器,一种位置信息检测传感器的制造方法,编码器,电动机装置和机器人装置。芯片上安装有用于通过光学图案检测光的光检测部,以及第二芯片,该第二芯片以第二芯片的表面面对第一芯片的表面的状态接合到第一芯片上,装有用于检测磁性图案的磁场的磁场检测部。版权所有(C)2013,日本特许厅&INPIT

著录项

  • 公开/公告号JP2012225669A

    专利类型

  • 公开/公告日2012-11-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NIKON CORP;

    申请/专利号JP20110091004

  • 发明设计人 HIKICHI TETSUYA;SHOJI HIROSHI;

    申请日2011-04-15

  • 分类号G01D5/245;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 17:01:10

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