公开/公告号JP2013058638A
专利类型
公开/公告日2013-03-28
原文格式PDF
申请/专利权人 ULVAC JAPAN LTD;
申请/专利号JP20110196473
发明设计人 MATSUZAKI JUNSUKE;SAKIO SUSUMU;TAKAHASHI AKIHISA;KONNO AKIRA;USAMI TATSUMI;HIRAOKA KENSUKE;SAITO KAZUYA;
申请日2011-09-08
分类号H01L31/04;H01B13/00;H01B5/14;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:58:13