首页> 外国专利> DIPPING SOLUTION FOR USE IN PRODUCTION OF SILICEOUS FILM AND PROCESS FOR PRODUCING SILICEOUS FILM USING THE DIPPING SOLUTION

DIPPING SOLUTION FOR USE IN PRODUCTION OF SILICEOUS FILM AND PROCESS FOR PRODUCING SILICEOUS FILM USING THE DIPPING SOLUTION

机译:用于生产硅质薄膜的浸出液和使用该浸出液生产硅质膜的方法

摘要

This invention relates to a dipping solution used in a process for producing a siliceous film. The present invention provides a dipping solution and a siliceous film-production process employing the solution. The dipping solution enables to form a homogeneous siliceous film even in concave portions of a substrate having concave portions and convex portions. The substrate is coated with a polysilazane composition, and then dipped in the solution before fire. The dipping solution comprises hydrogen peroxide, a foam-deposit inhibitor, and a solvent.
机译:本发明涉及在生产硅质薄膜的方法中使用的浸渍溶液。本发明提供浸渍溶液和使用该溶液的硅质膜的生产方法。即使在具有凹部和凸部的基板的凹部中,该浸渍溶液也能够形成均匀的硅质膜。基材涂有聚硅氮烷组合物,然后在着火前浸入溶液中。浸渍溶液包含过氧化氢,泡沫沉积抑制剂和溶剂。

著录项

  • 公开/公告号US2013277808A1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-10-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MASANOBU HAYASHI;

    申请/专利号US201313920617

  • 发明设计人 MASANOBU HAYASHI;

    申请日2013-06-18

  • 分类号H01L21/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 16:51:58

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号