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TRANSPORTING DEVICE, IN PARTICULAR FOR TRANSPORTING SHEET-LIKE SUBSTRATES THROUGH A COATING INSTALLATION

机译:运输设备,特别是用于通过涂层安装运输板状基材的运输设备

摘要

A transport device and method of transporting a substrate using a rotatable shaft and baffles may be used to extend cleaning intervals for the transport device and reduce deposition of a vapour deposition material upon the transport device.
机译:使用可旋转轴和挡板的运输装置和运输基板的方法可用于延长运输装置的清洁间隔并减少气相沉积材料在运输装置上的沉积。

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