公开/公告号NL2007604C2
专利类型
公开/公告日2013-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.;
申请/专利号NL20112007604
发明设计人 WIELAND MARCO JAN JACO;VEEN ALEXANDER HENDRIK VINCENT;STEENBRINK STIJN WILLEM HERMAN;BROM ALRIK;
申请日2011-10-14
分类号G03F7/20;G21K1/087;H01J29/46;H01J37/09;H01J37/317;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 16:40:38