公开/公告号NL2010615C
专利类型
公开/公告日2014-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.;
申请/专利号NL20132010615
发明设计人 WIELAND MARCO JAN-JACO;STEENBRINK STIJN WILLEM HERMAN KAREL;VEEN ALEXANDER HENDRIK VINCENT;BROM ALRIK;
申请日2013-04-11
分类号G03F7/20;G21K1/087;H01J29/46;H01J37/04;H01J37/09;H01J37/12;H01J37/317;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 15:56:51