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LARGE-AREA SPUTTERING TARGETS AND METHODS OF MANUFACTURING LARGE-AREA SPUTTERING TARGETS

机译:大面积溅射靶及制造大面积溅射靶的方法

摘要

In various embodiments, joined sputtering targets are formed at least in part by spray deposition of the sputtering material and/or welding.
机译:在各种实施例中,接合的溅射靶至少部分地通过溅射材料的喷雾沉积和/或焊接形成。

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