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VIBRATION-NOISE CALIBRATING DEVICE AND METHOD FOR AN OPTICAL INSPECTING SYSTEM, CAPABLE OF PREVENTING A MEASUREMENT ERROR CAUSED BY VIBRATION-NOISE

机译：用于光学检查系统的振动噪声校正装置和方法，能够防止振动噪声引起的测量误差

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机译：

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公开/公告号KR20130056473A

专利类型
公开/公告日2013-05-30

原文格式PDF
申请/专利权人 DONGWOO FINE-CHEM CO. LTD.;
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申请/专利号KR20110122100
发明设计人 YOON YOUNG GEUN;PARK JAE HYUN;PARK YIL SUNG;
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申请日2011-11-22
分类号G01N21/88;G06T7/00;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 16:27:03

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