机译:用于对植物室中的过程进行光学控制的真空处理设备的视镜,包括玻璃板和外壳以及光路,其中玻璃板是棱镜,使得光路至少倾斜一次
公开/公告号DE102012102489A1
专利类型
公开/公告日2013-09-26
原文格式PDF
申请/专利权人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;
申请/专利号DE201210102489
申请日2012-03-22
分类号C23C14/52;C23C14/54;H01J37/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:21:52