公开/公告号JP2014099660A
专利类型
公开/公告日2014-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO LTD;
申请/专利号JP20140035733
发明设计人 MACHII YOICHI;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;IWAMURO MITSUNORI;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;KIZAWA KEIKO;
申请日2014-02-26
分类号H01L31/04;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:18:42