公开/公告号JP2013246746A
专利类型
公开/公告日2013-12-09
原文格式PDF
申请/专利号JP20120121620
发明设计人 YAMAZAKI JUN;YAMANE KENICHIRO;WATANABE MASAHIRO;ONISHI TSUKASA;EGASHIRA RYO;MATSUDA KATSUHIRO;FUTAGAMI TAKAFUMI;
申请日2012-05-29
分类号G05F1/67;H01L31/042;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:14:12