要解决的问题:通过自动生成用于检查基板处理设备的配方来确保并简化基板处理设备的检查步骤。解决方案:基板处理设备的控制器15包括计算机16和存储装置19。存储装置19存储有基板处理控制程序和检查配方自动生成程序,并且还可以存储有基板处理控制程序和检查配方自动生成程序。配方,配置定义数据和操作条件数据。计算机16执行检查配方自动生成程序以生成并注册检查配方,其中在存储装置19中描述了用于允许基板处理装置必须操作的多个部件的处理过程。此时,计算机16根据配置定义数据和操作条件数据,生成构成检查配方的处理程序。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5379621B2
专利类型
公开/公告日2013-12-25
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本スクリーン製造株式会社;
申请/专利号JP20090216022
发明设计人 田中 貴夫;
申请日2009-09-17
分类号H01L21/027;H01L21/306;H01L21/304;H01L21/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:10:59