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Pulsed electron source, power supply method for pulsed electron source and method for controlling a pulsed electron source

机译:脉冲电子源,脉冲电子源的供电方法和控制脉冲电子源的方法

摘要

The invention relates to a pumped electron source (1) that includes an ionization chamber (4), an acceleration chamber (2) with an electrode (3) for extracting and accelerating primary ions and forming a secondary-electron beam, characterized in that the pumped electron source (1) includes a power supply (11) adapted for applying to the electrode (3) a positive voltage for urging a primary plasma (17) outside the acceleration chamber (2), and a negative voltage pulse for extracting and accelerating the primary ions and forming a secondary-electron beam.
机译:本发明涉及一种泵浦电子源( 1 ),其包括电离室( 4 ),具有电极的加速室( 2 ) ( 3 )用于提取和加速一次离子并形成二次电子束,其特征在于,泵浦电子源( 1 )包括电源( 11 )适用于向电极( 3 )施加正电压,以将初级等离子体( 17 )推向加速室( 2 ),以及用于提取和加速一次离子并形成二次电子束的负电压脉冲。

著录项

  • 公开/公告号US8698402B2

    专利类型

  • 公开/公告日2014-04-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MAXIME MAKAROV;

    申请/专利号US20090812270

  • 发明设计人 MAXIME MAKAROV;

    申请日2009-01-08

  • 分类号H01J7/24;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 16:02:51

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