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脉冲电子源、脉冲电子源的供电方法和控制脉冲电子源的方法

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本发明涉及一种脉冲电子源(1)，包括：电离室(4)；加速室(2)，所述加速室(2)具有用于吸引并加速一次离子和形成二次电子束的电极(3)，所述脉冲电子源(1)的特征在于：所述脉冲电子源(1)包括电源(11)，该电源(11)适于施加正电压到所述电极(3)以将一次等离子体(17)驱动出所述加速室(2)，以及施加负电压脉冲到所述电极(3)以吸引并加速所述一次离子和形成二次电子束。

著录项

公开/公告号CN101952926B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-21

原文格式PDF
申请/专利权人埃克西可集团公司;
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申请/专利号CN200980101926.7
发明设计人马克西姆·马卡罗夫;
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申请日2009-01-08
分类号H01J3/02(20060101);H01J33/00(20060101);H01S3/097(20060101);
代理机构11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张文;黄启行
地址比利时安特卫普
入库时间 2022-08-23 09:11:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-28

专利权的转移 IPC(主分类):H01J 3/02 登记生效日:20181207 变更前: 变更后: 申请日:20090108

专利申请权、专利权的转移
2012-11-21

授权

授权
2012-11-21

授权

授权
2011-03-16

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J3/02 申请日:20090108

实质审查的生效
2011-03-16

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 3/02 申请日:20090108

实质审查的生效
2011-01-19

公开

公开
2011-01-19

公开

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