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METHOD OF FORMING MEMBRANES WITH MODIFIED STRESS CHARACTERISTICS

机译：具有修正应力特性的膜形成方法

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摘要

A method of modifying stress characteristics of a membrane in one embodiment includes providing a membrane layer, determining a desired stress modification, and forming at least one trough in the membrane layer based upon the determined desired stress modification.

机译：在一个实施例中，一种改变膜的应力特性的方法包括提供膜层，确定期望的应力改变，以及基于所确定的期望的应力改变在膜层中形成至少一个槽。

著录项

公开/公告号KR20140026473A

专利类型
公开/公告日2014-03-05

原文格式PDF
申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;
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申请/专利号KR20137029833
发明设计人 OBRIEN GARY;GRAHAM ANDREW B.;YAMA GARY;
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申请日2012-04-13
分类号B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:43:32

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