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Method of forming membranes with modified stress characteristics

机译：具有改变的应力特性的膜的形成方法

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A method of modifying stress characteristics of a membrane in one embodiment includes providing a membrane layer, determining a desired stress modification, and forming at least one trough in the membrane layer based upon the determined desired stress modification.

机译：在一个实施例中，一种改变膜的应力特性的方法包括提供膜层，确定期望的应力改变，以及基于所确定的期望的应力改变在膜层中形成至少一个槽。

著录项

公开/公告号US8906730B2

专利类型
公开/公告日2014-12-09

原文格式PDF
申请/专利权人 ANDREW B. GRAHAM;GARY YAMA;GARY OBRIEN;
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申请/专利号US201113232073
发明设计人 ANDREW B. GRAHAM;GARY OBRIEN;GARY YAMA;
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申请日2011-09-14
分类号B81C1/00;B81B3/00;G01L9/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:16:40

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