公开/公告号KR20140078749A
专利类型
公开/公告日2014-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20147013088
发明设计人 COLLINS KENNETH S.;DORF LEONID;RAUF SHAHID;LERAY GARY;MISRA NIPUN;CARDUCCI JAMES D.;RAMASWAMY KARTIK;
申请日2012-10-15
分类号H05H1/34;H05H1/46;H01L21/3065;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:42:41