首页> 外国专利> CARRIER ADAPTER INSERT APPARATUS AND CARRIER ADAPTER INSERT DETECTION METHODS

CARRIER ADAPTER INSERT APPARATUS AND CARRIER ADAPTER INSERT DETECTION METHODS

机译:载具适配器插入装置和载具适配器插入检测方法

摘要

Methods, apparatus, and assemblies are provided for an adapter insert including an adapter frame including a support rail adapted to support one or more substrates in a substrate carrier, a frame extension coupled to, or integral with, the adapter frame, and a mapping feature formed on the frame extension and disposed to be detected by a sensor for determining whether an adapter insert is present or absent in a substrate carrier. Numerous additional features are disclosed.
机译:提供了一种用于适配器插件的方法,装置和组件,该适配器插件包括适配器框架,该适配器框架包括适于将一个或多个基板支撑在衬底载体中的支撑轨道,与适配器框架耦合或成一体的框架延伸部以及标测特征在框架延伸部上形成有一个固定件,该固定件被设置成由传感器检测,以用于确定在基板载体中是否存在适配器插件。公开了许多附加特征。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号